微機申系統
活動訊息
內容簡介
而這個新興科技領域也逐漸受到各個先進國家的重視，紛紛成立研究中心或在大學裡成立相關系所培養人才，有鑑於有意往微機電領域發展的學生或工程師日漸增多，但介紹微機電製程技術相關的書籍卻付之闕如，因此作者希望能拋磚引玉，就過去幾年來的研究成果與所使用的微機電技術匯集撰寫成書，盼能讓國內其他先進也一齊跟進，提供最新的微機電技供國內研究人員與學生們參考。
目錄
第一章 簡介
第二章 積體電路製程(Lithography, Etching)
第三章 LIGA與LIGA-like製程
第四章 微系統力學
第五章 微機電系統封裝技術
第六章 微機電系統之實例─微流量計之設計與製程規劃
第二章 積體電路製程(Lithography, Etching)
第三章 LIGA與LIGA-like製程
第四章 微系統力學
第五章 微機電系統封裝技術
第六章 微機電系統之實例─微流量計之設計與製程規劃
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