微機電系統技術入門（05612）
內容簡介
在本書中，介紹半導體微細技術來製作微小機械，從一開始製作微型齒輪到微型馬達的運轉，進而利用微加工和微機械技術運用在商品化，例如大部分從微鏡面反射的畫像投影顯示器、汽車安全氣囊起動的加速度感測器、巡航用的陀螺儀、噴墨印表機的噴頭等各種製品。微機械技術的特徵，是製作微細立體結構，應用半導體微細技術。當然還要加上半導體微加工，各種波束加工，微細機械加工，微細組裝，自我組織化組裝等輔助用法。兩者之間決定性的不同，對於半導體微加工，大部分結構是一次性加工的批次加工技術，其它的加工法原則上則是一步步的順序加工。
目錄
第1章 微‧奈米機械的發展歷史
1.1 以半導體技術製作微細結構和感測器
1.1.1 半導體技術和積體電路
1.1.2 半導體微細加工和微加工
1.1.3 矽晶片上的微齒輪
1.2 微致動器的進步
1.2.1 微靜電馬達
1.2.2 旋轉運動的靜電馬達
1.2.3 梳齒型靜電致動器
1.3 立體微細加工的發展
1.3.1 微鉸鏈和折立結構
1.3.2 切削矽基板的立體結構
1.3.3 取自立體鑄模的結構
1.4 從驚異的時代到實用的時代
1.4.1 微加工應用顯示器
1.4.2 在汽車的應用
1.4.3 在印表機的應用
1.5 其它微細化的進展
第2章 微‧奈米機械的特徵和優點
2.1 伴隨微小化的尺寸效應
2.2 半導體微加工
2.3 小型化、積體化、並聯化的特徵
2.4 小型化的優點
2.5 並聯化的優點
2.6 積體化的優點
第3章 微‧奈米機械的應用領域
3.1 各種應用領域
3.2 在感測器的應用
3.3 在醫學的應用
3.4 微‧奈米物體的觀測與操控
3.5 其它的應用
3.5.1 功率微機電系統
3.5.2 分佈微致動器的流體控制
3.5.3 無線通訊用微機電系統
3.5.4 微冷式電子發射槍與其應用
第4章 在光技術的應用
4.1 在光領域的應用
4.2 微機械對光技術的影響
4.2.1 元件的積體化
4.2.2 正確的對準
4.2.3 波長和同尺度大小的結構和位移
4.2.4 陣列化結構和重複結構
4.2.5 特性和波長無關的元件
4.2.6 自由空間傳遞的微光學系統
4.2.7 高靈敏性和高速響應
4.2.8 近場光學元件
4.2.9 微米領域的局部反饋控制
4.2.10 氣密封裝和真空封裝
4.2.11 光鑷夾
4.2.12 面對微小化的問題
4.3 微機械應用的光元件
4.4 光微機械的歷史
4.5 光通訊網路和光微機械
4.6 微機械應用的光開關
4.6.1 各種微機械光開關
4.6.2 三維微機械光開關
4.6.3 二維微機械光開關
4.6.4 三維型和二維型的比較
4.6.5 平面光波導使用的光開關
4.6.6 損耗的尺寸效應
4.7 可變波長元件
4.7.1 微機電系統F-P干涉計的應用
4.7.2 微機電系統可變共振器雷射
4.7.3 波長可變微機電系統光檢出器
4.7.4 微機電系統光調變器
4.7.5 微機電系統可變衰減器
4.8 磁性元件裝置的讀取頭精密循軌用微致動器
4.9 在可穿戴式電腦的應用
第5章 在生‧化領域的應用
5.1 微化學晶片
5.2 微流體元件
5.2.1 微流道和混合器、過濾器
5.2.2 微 閥
5.2.3 微泵浦
5.2.4 流體感測器
5.2.5 流量控制器
5.3 微化學晶片的應用
5.3.1 晶片上的微毛細管電泳分析
5.3.2 DNA晶片
5.3.3 在化學反應與合成的應用
5.4 生物晶片的細胞操控和細胞培養
5.4.1 細胞捕捉用的微系統
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- 9789572146316
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