?tude Spectroscopique des Nano- couches
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- 作者： Lazhar,Benmebrouk 追蹤 ? 追蹤作者後，您會在第一時間收到作者新書通知。
- 出版社： Editions Universitaires Europeen 追蹤 ? 追蹤出版社後，您會在第一時間收到出版社新書通知。
- 出版日：2021/03/04
活動訊息
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內容簡介
Dans le cadre de caract矇risation de plasma de d矇charge nous avons r矇alis矇 une 矇tude num矇rique sur des spectres exp矇rimentaux 矇mis par le plasma lors de d矇position sur couches minces de silicium. L'objectif recherch矇 est la d矇termination de la temp矇rature 矇lectronique et de la densit矇 矇lectronique d'un plasma de d矇charge provoqu矇e dans l'h矇lium pur avec une pression de 0.1mb, une puissance RF (100-400W) et pour des positions (x = 0, x = 3 et x = 5 cm). Les profils de raies et la connaissance de l'矇tat d'矇quilibre thermodynamique du milieu sont n矇cessaires pour r矇aliser nos 矇tudes. Nous nous sommes bas矇s sur des bases des donn矇es de physiques atomiques des diff矇rents 矇l矇ments du milieu (HeI, HeII, SiI, SiII...), et de mod癡le th矇orique et num矇rique pour calculer les diff矇rentes causes d'矇largissements (naturel, Doppler, Stark et exp矇rimental). Les r矇sultats trouv矇s montrent que le plasma est hors 矇quilibre thermodynamique local et la temp矇rature 矇lectronique est proche de celles estim矇es par d'autres auteurs.
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