Propriedades el矇ctricas e mec璽nicas de filmes finos de s穩lica mesoporosa
Propriedades el矇ctricas e mec璽nicas de filmes finos de s穩lica mesoporo
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分類：英文書＞自然科普＞應用科學＞工程追蹤? 追蹤分類後，您會在第一時間收到分類新品通知。
- 作者： Amit Pratap,Singh 追蹤 ? 追蹤作者後，您會在第一時間收到作者新書通知。
- 出版社： Edicoes Nosso Conhecimento 追蹤 ? 追蹤出版社後，您會在第一時間收到出版社新書通知。
- 出版日：2021/09/20
內容簡介
As pel穩culas finas de s穩lica mesoporosa (MPS) s瓊o atractivas para aplica癟瓊o como diel矇ctrico de camada interm矇dia (ILD) de baixaκ em circuitos integrados. Contudo, estas pel穩culas s瓊o suscept穩veis a instabilidades no comportamento el矇ctrico devido ? capta癟瓊o de 獺gua e difus瓊o de cobre. Este trabalho discute as instabilidades el矇ctricas, qu穩micas e t矇rmicas, a difus瓊o de Cu, e a ades瓊o destes materiais para avaliar e permitir a sua utiliza癟瓊o para aplica癟繭es como futura DPI em cablagem de dispositivos. A estabilidade t矇rmica dos grupos funcionais e a ades瓊o destes filmes com Cu s瓊o tamb矇m quest繭es-chave para a integra癟瓊o destes diel矇ctricos em dispositivos reais. Tentamos abordar estas quest繭es aqui para poucos tipos de pel穩culas funcionais MPS. A estrutura dos poros 矇 outro par璽metro chave na defini癟瓊o do desempenho mec璽nico e el矇ctrico dos filmes MPS. Neste trabalho utiliz獺mos filmes MPS com poros 3D-C繳bicos para a maioria dos estudos. As diferen癟as nas propriedades dos filmes MPS com poros orientados paralelamente ao substrato (2D-hexagonal) e os filmes MPS com poros c繳bicos (3D-c繳bicos) s瓊o discutidos no final. Em resumo, este trabalho mostra formas de adaptar as propriedades el矇ctricas e mec璽nicas dos diel矇ctricos de MPS de baixaκ para futuras aplica癟繭es.
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